測頭可分為接觸式測頭和非接觸式測頭（激光等類型）。

　　目前主要用接觸式測頭，接觸式測頭又可分為開關式（觸發(fā)式或動態(tài)發(fā)訊式）與掃描式（比例式或靜態(tài)發(fā)訊式）兩大類

　　開關測頭的實質(zhì)是零位發(fā)訊開關，以TP6（RENISHAW）為例，它相當于三對觸點串聯(lián)在電路中，當測頭產(chǎn)生任一方向的位移時，均使任一觸點離開，電路斷開即可發(fā)訊計數(shù)。開關式結(jié)構簡單，壽命長（106~107）、具有較好的測量重復性（0.35~0.28μm），而且成本低廉，測量迅速，因而得到較為廣泛的應用。

　　掃描式測頭實質(zhì)上相當于X、Y、Z個方向皆為差動電感測微儀，X、Y、Z三個方向的運動是靠三個方向的平行片簧支撐，是無間隙轉(zhuǎn)動，測頭的偏移量由線性電感器測出。掃描式測頭主要用來對復雜的曲線曲面實現(xiàn)測量。

　　非接觸測頭主要分為激光掃描測頭和視頻測頭兩種。

　　激光掃描測頭主要用于實現(xiàn)較軟材料或一些特征表面進行非接觸測量。測頭在距離檢測工件一定距離（比如50mm），在其聚焦點!5mm范圍內(nèi)進行測量，采點速率在200點/秒以上。通過對大量采集數(shù)據(jù)的平均處理功能而獲得較高的精度。

　　視頻測頭進一步提高了測量機的應用，使得許多過去采用非接觸測量無法完成的任務得以完成。一些諸如印刷線路板、觸發(fā)器、墊片或直徑小于0.1mm的孔可采用視頻測頭進行測量。操作者可將檢測工件表面放大50倍以上，采用標準的或可變換的鏡頭實現(xiàn)對細小工件的測量。